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是產(chǎn)品寬為 31.5mm，最大吸入流量為 180l/min（ANR）的大流量組合型真空發(fā)生器。 噴口類型可選擇單體噴口，雙噴口，2段噴口。

最適于芯片移動，Handler 等半導(dǎo)體相關(guān)裝備。 實現(xiàn)高速及穩(wěn)定的應(yīng)答性。

是小型，輕量的集中排線方式的 manifold 專用組合型真空發(fā)生器，可選擇 D-sub連接類型及電纜連接類型。 操縱閥的消耗電量為 0.55W，是節(jié)能型式樣。

是適于半導(dǎo)體裝備及高速驅(qū)動裝備的輕量，小型化組合型真空發(fā)生器。 可選擇DIN軌固定式樣及真空保護(hù)維持型式樣。

在原有的破壞流量調(diào)整的基礎(chǔ)上添加破壞壓力調(diào)整功能，可防止吸附物的飛散及未解除現(xiàn)象。 在真空破壞回路上追加輔助功能，實現(xiàn)真空破壞時間的縮短。

總共18種類型的多種模塊及豐富多樣的組合，可滿足客戶的各種使用要求。 真空破壞閥可選擇空氣流量方式及電磁閥方式。