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最適于芯片移動,Handler 等半導體相關裝備。 實現高速及穩(wěn)定的應答性。(ON/OFF = 5msec 以下)

是小型,輕量的集中排線方式的 manifold 專用組合型真空發(fā)生器,可選擇 D-sub連接類型及電纜連接類型。 操縱閥的消耗電量為 0.55W,是節(jié)能型式樣。

是適于半導體裝備及高速驅動裝備的輕量,小型化組合型真空發(fā)生器。 可固定 DIN軌 ,可對應真空破壞時大幅度縮短到達大氣壓的 3端口式樣。

追加破壞流量調整,破壞壓力調整功能,可防止吸附物的飛散及未解除現象。 在真空破壞回路上追加輔助功能,實現真空破壞時間的縮短。

是適用于小型真空泵的原壓控制。 可安裝指針表示型或數碼真空傳感器。

可防止用一個真空泵或真空發(fā)生器使用多個吸盤時發(fā)生的吸附物掉落現象。
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